CS-3300搭载宽范围 & 高分辨力的检出器,可应对从轮廓测量到表面粗糙度测量的广泛需求。
●宽范围 & 高分辨力检出器:
测量范围:Z轴方向 5 mm量程(分辨力:80 nm)~0.05 mm量程(分辨力:0.8 nm)
指示精度:Z轴方向 ±(1.5+│2H│/100)μm, H=从水平位置开始的高度(mm)
●进给装置(X轴)上搭载了高精度线性栅尺,立柱(Z2轴)上搭载了ABS(绝对原点)栅尺,因此可以组合上下、左右动作进行全自动测量。对于难以进行上下方向连续自动测量及定位的工件,提高了其反复测量的再现性。
●检出器采用滑动机构,根据测量工件的形状,在不干扰驱动器的测量区域也可以进行测量。检出器、驱动器等的电缆全部配线在主机内部,消除了会导致测量误差的配线摩擦,实现高速驱动。
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