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日立超高分辨场发射扫描电子显微镜 SU8600系列

随着快速数据采集和数据处理技术的发展,电子显微镜进入了一个不仅重视数据质量,而且重视其采集过程的时代。SU8600系列秉承了Regulus8200系列的高质量图像、大束流分析及长时间稳定运行的冷场成像技术,同时还大大提升了高通量、自动数据获取能力。
名称 扫描电子显微镜
规格
品牌 HITACHI日立
型号 SU8600
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超高分辨成像

日立的高亮度电子源可保证了即使在超低着陆电压下,也可获得超高分辨的图像。

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0.8 kV电压条件下观察RHO型沸石的实例。左图为颗粒整体的形貌,右图为放大图像,颗粒表面细微的台阶结构清晰可见。低电压观察对于减少电子束损伤和获取表面形状信息较为有效。


衬度的低加速电压背散射图像

3D NAND截面观察;
在低加速电压条件下,背散射电子信号能够明显的显示出氧化硅层和氮化硅层的衬度差别。

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3D NAND截面观察(加速电压:1.5kV)
快速BSE图像:新型闪烁体背散射电子探测器(OCD)*

由于使用了新型的OCD探测器,即使扫描时间不到1秒,也仍然可以观察到Fin-FET清晰的深层结构图像.

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5纳米制程SRAM的内部结构观察 (加速电压:30kV,扫描时间<1秒)
先进的自动化功能*

EM Flow Creator 允许客户创建连续图像采集的自动化工作流程。EM Flow Creator将不同的SEM功能定义为图形化的模块,如设置放大倍率、移动样品位置、调节焦距和明暗对比度等。用户可以通过简单的鼠标拖拽,将这些模块按逻辑顺序组成一个工作程序。经过调试和确认后,该程序便可以在每次调用时自动获得高质量、重现性好的图像数据。

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灵活的用户界面

原生支持双显示器,提供灵活、高效的操作空间。6通道同时显示与保存,实现快速的多信号观测与采集。

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1,2,4 或6通道信号可在同一个显示器上同时显示,可切换内容包括SEM各探测器以及样品室相机和导航相机。可以通过使用两个显示器来扩展工作空间,可定制的用户界面以提高工作效率。




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