| 项目 | 内容 |
|---|
| 图像分辨率 | 0.8 nm/15 kV |
|---|
| 0.9 nm/1 kV | | 放大倍率 | 20~2,000,000 x |
|---|
| 电子枪 | ZrO/W热场发射(肖特基热场发射) |
|---|
| 0.1~30 kV (步进:0.01 kV) | | **200 nA | | 探测器 | UD (上探测器) |
|---|
| MD (中探测器) | | LD (下探测器) | | PD-BSED (半导体式背散射电子探测器) | | UVD(高灵敏度低真空探测器 ) | | 低真空模式*1 | 5~300 Pa |
|---|
| PD-BSED, UVD, UD, MD, LD | | 马达台 | 5轴马达驱动 |
|---|
| 0~135 mm | | 0~100 mm | | 1.5~40 mm | | -5~70° | | 360° | | **直径:φ200 mm, **高度:80 mm | | 显示器*1 | 23英寸LCD (1,920×1,080), 支持双屏 |
|---|
| 图像显示模式 | 1,280×960像素显示 |
|---|
| 800×600像素显示 | | 800×600像素显示、1,280×960像素显示 *2 | | 640×480像素显示 | | 640×480像素显示 *2 | | 图像数据保存 | 640×480、1,280×960、2,560×1,920、5,120×3,840、10,240×7,680 |
|---|
| 选配附件 | 能谱仪(EDX) |
|---|
| X射线波谱仪(WDX) | | 电子背散射衍射(EBSD) | | 阴极荧光探测器(CL) | | 冷冻传输系统 | | 各种功能样品台 |
|